乙硼烷混氦氣
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乙硼烷混氦氣 B2H6/He Mixture
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| 組分 Components | 含量 Content |
| 乙硼烷 B2H6, 5N | ≥0.1% |
| 氦 He，6N |
Balance （平衡氣）
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| 組分 Components |
規格 Specification
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乙硼烷 Diborane（B2H6）5N
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99.999% |
| 氮 Nitrogen (N2) | ≤2 ppmv |
| 氧 Oxygen (O2) | ≤0.5 ppmv |
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二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)
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≤2 ppmv |
| 甲烷 Methane (CH4) | ≤4 ppmv |
| 氫 Hydrogen (H2) | ≤100 ppmv |
| 三氟化硼 Boron trifluoride（BF3） | ≤ 50ppmv |
| 丁硼烷 Teraborane(B4H10) | ≤180 ppmv |
| 戊硼烷 Pentaborane(B5H9） | ≤10 ppmv |
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戊硼烷 Pentaborane（B5H11）
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≤10 ppmv |
| 氦 Helium（He）6N | 99.9999% |
| 水 Water(H20) | ≤0.5 ppmv |
| 氧 Oxygen (O2) | ≤0.5 ppmv |
| 氮 Nitrogen (N2) | ≤0.5 ppmvv |
| 甲烷 Methane (CH4) | ≤0.1 ppmv |
| 一氧化碳 Carbon Monoxide （CO） | ≤0.1 ppmv |
| 二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) | ≤0.1 ppmv |
| 包裝規格 | |
| 鋼瓶規格 Cylinder Size | 47L |
| 充裝量 Fill Weight (kgs) | 100 bar |
| 閥門 Valve Connection | CGA350/DISS632 |
| 鋼瓶尺寸 Cylinder Dimensions(cm) | 23x140 |
| 產品用途：用于半導體、太陽能電池等領域 | |
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