六氟化硫SF6氣體回收凈化裝置是用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠，使用運行科研等部門, 對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體,同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。SF6氣體回收凈化充放裝置適用SF6開關電器及GIS組合電器等。

一、SF6氣體回收凈化裝置的主要功能

SF6氣體回收凈化裝置由回收系統、充氣系統、抽真空系統、凈化系統、氣體貯存系統組成，具有如下主要功能：

1、對裝置本機以及電器設備抽真空和真空度的測量；

2、對電器設備中的氣體進行回收；

3、對回收和回充的SF6氣體進行干燥、凈化處理；

4、對SF6電器進行充氣；

5、對電器中SF6氣體進行壓縮貯存。

二、SF6氣體回收凈化裝置的工作原理

1、SF6氣體的回收

當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻提純，在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。

2、SF6開關抽真空

使用真空泵把電器開關中的氣體可以抽除，真空泵的出口通向大氣。

3、充氣

經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到設定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：

（1）借助SF6貯罐壓力使氣體汽化流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。

（2）當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。