1、三氟化氯（chlorine trifluoride）是無機化合物 ，分子式為ClF?，分子量為92.45。有毒，有強腐蝕性，常溫下為無色氣體，降溫變為綠色液體。

2、可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。在半導體工業中，三氟化氯被用于清潔化學氣相沉積的反應艙。

3、它具有不需拆卸反應艙就可以清除艙壁附著的半導體物質這一優點。與其它代替的清潔劑不同，三氟化氯在使用前不需經過等離子體激化，因為反應艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導體材料反應。