電子級六氟化硫逐漸實現國產替代六氟化硫（化學式為SF6）常態下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體，六氟化硫具有良好的化學穩定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性，在半導體、電力設備、航空航天、半導體制造、金屬加工、醫療等領域應用廣泛。根據應用領域不同，六氟化硫可分為工業級六氟化硫以及電子級六氟化硫，近年來，隨著大規模集成電路技術提升，市場對電子氣體純度、質量等要求越來越高，在此背景下，六氟化硫產業逐漸由工業級向電子級方向升級。

  電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應用在半導體、面板顯示器件等大規模集成電路的蝕刻和清洗過程中。作為一種高附加值的精細化學品，電子級六氟化硫行業存在一定的技術、研發以及資金壁壘，早期受技術限制，我國電子級六氟化硫產能不足，產品進口依賴度較高，進入21世紀，我國電子產業發展迅速，國內市場對電子級六氟化硫的需求增長快速，電子級六氟化硫實現自主生產需求迫切。半導體產業的不斷發展，電子級六氟化硫市場需求增速加快，我國電子級六氟化硫生產能力實現增長。

  目前來看，我國六氟化硫生產企業數量較多，但其中具備電子級六氟化硫量產能力的企業較少，公司電子級六氟化硫產品純度已達到5.5N級。我國電子特氣進口依賴度較高，為提升電子特氣自給率、爭奪國際市場，我國政府對電子特氣行業發展的重視度提升。電子級六氟化硫行業存在一定的技術、研發以及資金壁壘，早期我國電子級六氟化硫進口依賴度較高，近年來，在政策扶持力度加大、企業研發能力提升的背景下，電子級六氟化硫逐漸實現國產替代。目前我國具備電子級六氟化硫量產能力的企業數量較少，市場供應仍偏緊，未來我國電子級六氟化硫行業發展空間廣闊。